华东光电6英寸MEMS工艺平台,可提供光刻、晶圆级键合、化学腐蚀与清洗、金属成膜等工艺

2021-09-05 华东光电
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华东光电集成器件研究所6英寸MEMS工艺平台,具备双面光刻、stepper光刻、各类晶圆级键合、深硅反应离子刻蚀、介质和金属刻蚀、化学腐蚀与清洗、炉管和等离子介质成膜、金属成膜、离子注入、研磨与抛光等单项基础工艺能力和完善的工艺参数在线检测能力。

华东光电建立了基于硅硅直接键合的体硅SOI工艺,形成了国内领先的Eutectic-SOI、TSV-SOI、Glassfrit-SOI、PiezoR-SOI四套基础工艺体系和一站式用户定制工艺,具备晶圆级真空封装技术能力。广泛应用于高性能MEMS惯性器件、光MEMS微镜、压力传感器、气体传感器、红外温度传感器等领域,为各领域龙头高校、科研院所、企业等提供了优质的工艺技术服务,在业界形成了良好口碑。


在积极发展现有MEMS技术体系的同时,为了适应未来高集成度、高性能、低功耗电子系统的发展需求,积极布局研发微系统集成技术,在三维异质异构集成等方面开展了先导技术研究,取得了多项关键技术突破,逐步建立起8英寸三维异质异构集成工艺能力,满足智能化、微型化发展需求。

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本文由ChangeArmy转载自华东光电,原文标题为:6英寸MEMS工艺平台,本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

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  • sdlibin007 Lv7. 资深专家 2021-09-23
    长见识了,平常难的见到芯片生产
  • 蓝爵 Lv8. 研究员 15:49:54
    不错不错
  • Ethanl Lv4. 资深工程师 2021-09-29
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  • 飞速成长 Lv7. 资深专家 2021-09-27
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  • zwjiang Lv8. 研究员 2021-09-23
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  • zdr69909057 Lv7. 资深专家 2021-09-23
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  • 咸菜 Lv5. 技术专家 2021-09-17
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